实验性真空 等离子表面处理机采用按钮控制形式进行调谐。调节部分主要电气部分有真空泵、射频电源、真空计、定时器、浮子流量计、绿色电源指示灯、带灯蜂鸣器、功率调节器、排气按钮（带自锁）、气体一键（自锁）、带）、气2按钮（带自锁）、高频电源按钮（带自锁）、真空泵按钮（带自锁）、总功率旋钮开关。按钮（带自锁
