5.待腔体产生辉光，实验型真空等离子设备维修根据实验需求，手动调节流量计旋钮添加辅助性气体。 6.到达处理时间后，平衡阀自动复原，3秒左右恢复常压，无进气声响时，腔门自动打开。 7.打开腔门，取出被处理物，一个处理过程结束。 温馨提示：以上各命令都可在键下终止，回到复位状态。所有数字量都可自由调整，
