等离子清洗/蚀刻机在密闭容器中产生等离子设置两个电极形成电场，龙门等离子设置穿孔时间没效果利用真空等离子表面处理装置的真空泵达到一定的真空度。随着气体变薄，分子间距和分子或离子的自由运动距离也会变薄。这些离子具有高反应性，具有足够的能量来破坏几乎所有的化学键，并在暴露的表面上引起化学反应。不同的气体
