1、等离子清洗设备的PECVD工艺 PECVD等离子增强化学气相沉积通常使两种或两种以上的工艺气体在等离子体状态下发生反应，等离子清洗与环保产生一种新的固体材料，在材料基体上形成一层薄膜材料。该过程制备光学膜。 2、等离子清洗设备的溅射工艺在等离子溅射中，两种或两种以上的气体被电离并与等离子体反应。
