然后将气体（氩+氧或氮+氧）引入空腔并与等离子体反应以去除空腔中的残留物。处理时间约为10分钟，亲水性滤芯耐高温吗应至少每月处理一次。 3.检查燃气管道的完整性和真空气密性：定期检查真空系统的完整性。该测试应在彻底清洁反应室后进行，以免遗漏反应室中的污染物。定期检查反应室门是否密封松动。检查每条输气
