在等离子清洗机中频放电过程中，等离子技术落败的原因是什么中频电源直接输出到极板电压高时，产生的负偏置会导致正离子吸收功率无意义，会直接导致极板温度升高;正离子吸收部分功率后，电离电子的吸收功率相应降低，导致等离子体密度降低。等离子清洗机在射频放电(兼容耦合模式)过程中，极板产生的自偏置受放电压力的影
