等离子体清洗机活化可明显提高甲烷转化率,天津真空等离子处理设备工作原理当等离子体清洗机注入功率为30W时,甲烷转化率达26.5%,由于在等离子体清洗机空间内氧自由基之间反应缺乏挑选,及其等离子体对产物的分解作用,导致C2烃选择性低(47.9%),且随着等离子体注入功率的增加,C2烃选择性迅速下降,所