如果黄色故障灯亮，电池极片等离子刻蚀设备停止运行进行休息检查；2.用低温等离子体清洗电源时，要特别注意红色警示灯。通常是电源的运行或振动频率有问题；3.使用低温等离子清洗电源时，要定期清洗。清洗时，切断电源，然后打开真空仓和控制箱，按照手册要求的规范进行清洗希望以上低温等离子清洗电源使用过程中需要注
