目前研究较多的有CO/NH3混合物，甘肃等离子清洗机速率其在等离子体蚀刻中形成的蚀刻副产物Fe(CO)5、Ni(CO)4呈易失性 ，可有效缓解对蚀刻后腐蚀处理的需要。然而，该混合物等离子体解离率远低于卤素，蚀刻速率较低，对蚀刻形状的控制能力也较弱。在合适的工艺条件下对PE、PP、PVF2、LDPE等
