用硫等离子体钝化 GAAS 样品不会造成明显的杂质污染。尤其是钝化效果比较稳定，手机中框plasma表面清洗机更适用于GAAS光电器件的钝化工艺。使用高频等离子清洗机对 GAAS 衬底晶片的表面进行硫钝化处理。射频等离子体的钝化效应是基板温度、溅射功率、劣化温度的影响。通过优化硫等离子体钝化条件，样
