在电子回旋共振等离子体和直流等离子体的情况下，等离子体频率的计算中性粒子束由正离子电荷转移形成，中和效率不高（约60%），粒子束能量高（>100eV）。这种低中和、低通量、高能量的粒子束由于其低蚀刻速率和蚀刻选择性而不太适合蚀刻工艺。在体加平行碳板法中，中性粒子束通过负离子分离电子。在等离子脉冲技术
