等离子主要用于低温等离子聚合和等离子表面处理。离子聚合是利用放电使有机气体单体等离子体化，等离子体密度测试标准产生各种活性物质，这些活性物质之间的相互作用或单体的相互作用反应，产生聚合物薄膜。使用非高分子无机气体（Ar2.N2.H2.02等）等离子体进行表面反应，通过表面反应将特定基团引入表面，在等
