在氧等离子体中的氧原子自由基、激发的氧分子、电子和紫外线的共同作用下，二氧化硅等离子体表面清洗设备油分子最终被氧化成水和二氧化碳分子，从物体表面被去除。等离子去除油渍的过程就是有机大分子逐渐分解，最终形成水、二氧化碳等小分子的过程，以气体的形式被去除，这个我理解。等离子清洗的另一个特点是清洗后物体完
