一般来说，等离子体在集成电路工艺中的应用物质有三种存在状态，即固态、液态和气态，但在某些特殊情况下，会出现第四种状态。例如，地球大气电离层中的物质以等离子体的形式存在。下列物质以等离子体状态存在:高速运动的电子;电离的原子和分子;未反应的分子和原子;处于活动状态的中性原子、分子、自由基等，但物质整体
