相反，uv附着力腻子在图的空白区域，例如，图间距大于2，因为电子是各向同性的。一些电子被被蚀刻的金属的侧壁收集，而离子没有，导致负电荷积聚在金属的侧壁上，为设备形成负电位。在等离子体放电过程中，产生大量的VUV光子，在栅极氧化层中产生光电流并损坏器件。栅极顶部带隙较窄的氮化硅涂层可以有效地吸收和阻挡
