2.真空腔体真空腔体主要是分为两种材质的：1）不锈钢真空腔体。2）石英腔体。3.真空泵真空泵分为两种：1）干泵。2）油泵。真空等离子设备耗材清单： （1）真空等离子设备真空室：真空室可分为两大类：1）不锈钢真空室；2）石英室。您是否将真空等离子设备与传统清洁进行了比较？二是整个加工过程干净。等离子清
