为什么设备要用旋片式真空泵?旋转叶片式真空泵有哪些特点?旋片式真空泵是一种油封式机械式真空泵，等离子体低温灰化仪主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。旋片式真空泵有单级和双级两种，等离子清洗机一般采用两级旋片式真空泵，所谓两级旋片式真空泵就是将两台单级真空泵串联在一起。回转叶片真空泵的泵腔内偏心
