高频等离子炬由高频电源、放电室、等离子工作气体供应系统三部分组成。除了提供轴向工作气体外，干蚀刻机台组成后者还可以切向冷却和保护放电室壁（通常是石英或耐热性较差的材料），例如电弧等离子炬气体以稳定电弧，还提供涡流气体。本文来自北京。转载请注明出处。等离子发生器的这些特点在行业中占有不可替代的地位。等
