在等离子体的高温下，氮化硅表面涂层改性材料不存在参与反应的物质被电极材料污染的问题，因此可用于熔融蓝宝石、无水石英、单拉丝等高纯度持久性材料的提纯.晶体、光纤、精炼铌、钽、海绵钛等(2)高频等离子体流速慢(约0～103m/s)，弧柱直径大。近年来在实验室广泛使用，可用于许多等离子工艺测试。在工业上制
