特点：1、可以选配13.56MHZ射频电源、微波电源、中频电源；2、关键射频电源微波电源部件自制，福建等离子处理设备定制设备性价比高；3、腔体容积：30-3000升；4、使用气体：氩气(AR)/氮气（N2)/压缩空气（CDA）/CF4/等气体；5、可定制在线真空等离子清洗机来连接客户流水线，实现自动
