以物理反应为中心的等离子体清洗，pet塑料上油漆附着力也称为溅射腐蚀(SPE)离子铣削(IM)，其优点是自身不发生化学反应，清洁表面不会留下氧化物，可以保持被清洗物的化学纯度，另一个等离子清洗在表面反应机制中物理反应和化学反应发挥重要作用，即反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀，两种清洗相互促进，离子轰击对
