因此，亲水性纳米二氧化钛为了解决氮化钛残渣与选择性比之间的矛盾，提出了有机基板的部分去除方案。在该方案中，通过控制有机衬底的开放时间，在沟槽中留下足够的有机物来保护底部的氮化钛，从而避免刻蚀方向和选择性这两个要求不一致。因此，您可以使用 CF4 / CHF3。这种低选择性蚀刻配方同时蚀刻侧壁上的氧化
