如果没有自动保护，福建常压等离子处理机供应检查电路是否开路或短路。 3. 检查电线是否开路或短路。四。如果以上都没有异常，抽真空；五。检查是否因排气压力过低而可以开启或排气。 5.如果设备有报警检查型腔底部用于破坏真空的气动阀是否工作正常，压力阀是否有断路或断路现象。由于高能电子的影响，福建常压真空
