三分之一的微电子器件和设备采用等离子体技术；90%的高分子材料都要经过低温等离子体的表面处理和改性。科学家预言：21世纪低温等离子体科学技术将有突破。低温等离子体技术将在半导体工业、高分子薄膜、材料防腐、等离子体电子、等离子体合成、等离子体冶金、等离子体煤化工、等离子体三废处理等领域对传统技术产生革
