真空等离子清洗机主要用于半导体封装行业，硅胶表面化学改性材料有哪些包括集成电路、分立器件、传感器、光电封装，以及印刷电路板行业、半导体IC领域、硅胶、塑料、玻璃、陶瓷和聚合物领域. 汽车电子行业、手机制造行业、航空航天行业等。在真空室内，各种特定的工艺气体相通，高频电源在特定压力下产生高能混沌等离子
