中性粒子束蚀刻等离子体表面处理机器基本不会产生电荷积累和紫外光子辐射(真空),以及由此产生的粒子反应能量很低,所以有可能是等离子体表面处理机器将会非常适合7海里在鳍式场效应晶体管蚀刻硅衬底,以及5纳米以下的碳纳米管或石墨烯器件精确的无创蚀刻。。近年来，如何检测碳纳米管的亲水性具有等离子体特殊性能的聚
