腔内大气等离子体在大多数情况下都能满足实验要求。一些研究人员更倾向于使用纯O2来控制腔内的总气体成分，硅片等离子表面处理设备但需要更多的设备，加工过程也更严格.粉尘表面尘埃的存在会阻止玻璃-PDMS的等离子体键合。此外，磁盘上灰尘的位置和大小也会影响PDMS的硬度。对于第一次清洗，至少需要一个清洁和
