然而，金刚石表面钯活化经过20多年的理论和实验研究，人们不仅发展了多种等离子体化学气相沉积技术制备金刚石薄膜，而且通过对实验数据的分析和总结，了解了影响金刚石薄膜生长的因素。聚晶金刚石薄膜的成核对其生长至关重要，影响成核的因素很多，包括等离子体条件、衬底数据和温度等。在等离子体化学气相沉积金刚石薄膜
