-的主要工艺包括：首先将需要清洗真空等离子设备的工件送入真空室固定，真空等离子清洗机采购启动真空泵等装置，开始抽真空排气至大约10Pa的真空度；然后把真空等离子置备气体(根据清洗材料的不同，)选择了不同的气体，如氧、氢、氩、氮等，把压力控制在 Pa左右；在真空室中的电极和接地装置之间加一高频电压，使
