1.首先将需要清洗的工件送入真空室进行固定，真空等离子处理设备施工启动真空泵等装置，开始抽真空，待真空度达到10Pa左右后，进行等离子清洗的气体通入真空室（根据材料的清洗情况，选用氧气、氢气、氩气、氮气等不同气体，电极和压力保持在Pa左右破坏气体，采用辉光放电电离真空室中的接地装置 等离子体 真空室
