真空室或管路有泄漏时,真空破坏器安装位置检查连接部位及腔体密封检查系统参数设置9真空等离子清洗机的真空度过低,系统将自动停止,请检查供气是否正常(1)进口流量设置过小,真空度无法保持。②流量计故障:流量计堵塞或损坏。真空镀铝包装膜具有铝材少、耐折叠性好、阻隔性好、抗静电性能好、成本低、使用寿命长、使