在真空等离子设备的清洗过程中，真空活化机除了形成低温等离子体的化学变化外，低温等离子体还与原料表面形成物理反应。低温等离子体粒子可以将原料表面或原料附着表面的原子敲掉，有利于清洗蚀刻反应。它们也可以被原子结构的力学所操纵表面基板的损坏。这些表面基团后来可能参与表面反应和成键。真空等离子体处理是一种低
