二是电晕清洗原理,电晕机处理pe通过化学或物理作用对工件表面进行处理,实现分子水平(一般厚度在几到几十纳米)污染物的去除,从而提高工件表面的活性。去除的污染物可能是有机物、环氧树脂、光刻胶、氧化物、微粒污染物等,不同的污染物应采用不同的清洗工艺。根据工艺气体的不同,电晕清洗可分为化学清洗、物理清洗和