粒子浓度和能量分布对电晕的刻蚀速率、各向异性指数和选择性有很大影响。这些氧电晕表面处理中粒子的浓度是由一些常见的物理和化学过程决定的。这包括电子-离子对的产生；自由基生成；负离子的产生；气相化学反应；离子在表面的迁移；自由基在表面的迁移；表面相反应。这是一个完整的氧电晕表面处理仪器的反应过程，电晕机
