在电晕环境中，电晕机为什么产生臭氧气可以通过增加离子撞击表面的加速度或通过化学刻蚀过程选择性地改变表面形貌。电容耦合射频电晕中的离子通常以网络方向向衬底移动。它取决于离子和电子对产生电晕的电场极性变化的反应时间。因为电子比离子轻得多，所以电子反应更快。因此，放置在电子运动路径中的矩阵在等待正离子到达
