等离子体处理装置主要用于清洗物体表面的有机化合物并产生氧化反应。还有一种气体处理设备，耐磨铝粉纯环氧漆附着力如氩气、氦气和氮气，氮气处理可以提高材料的硬度和耐磨性。氩和氦本质上是稳定的，低放电电压(氩原子的电离能E为15.57eV)容易生成亚稳态原子。首先，等离子体处理设备利用其高能粒子的物理作用，
