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等离子体温度表面处理(吉林等离子体除胶机使用方法)

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吉林等离子体除胶机(吉林等离子体除胶机使用方法)

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在芯片粘结前,吉林等离子体除胶机使用方法采用等离子清洗机O2、Ar和H2的混合气体进行几十秒的在线式等离子清洗,能够去除器件表面的有机氧化物和金属氧化物,可以增加材料表面能,促进粘结,减少空隙,极大地改善粘结的质量。 等离子清洗机(Plasma Cleaner)又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、