清洗时，附着力拉开法测定仪高能电子碰撞反应气体分子，使其游离或电离，利用各种粒子轰击被清洗表面或与被清洗表面发生化学反应而产生，从而有效的清洁(除)多种污染物;还可以改善材料本身的表面性能，如改善表面的润湿性，提高膜的附着力，这在许多应用中都是非常重要的。等离子体清洗后，设备表面干燥，不需要再次处理
