，油漆附着力实验步骤代表了未来等离子刻蚀的方向。由于多晶硅栅的特征尺寸直接决定了器件的沟道长度，因此控制晶圆内的尺寸均匀性和晶圆间特征尺寸的变化是多晶硅栅刻蚀的重中之重。多晶硅栅极的特征尺寸通过蚀刻非晶碳夹层结构来确定。因此，蚀刻等离子表面处理机的夹层结构增加了特征尺寸 (TRIM) 修整步骤。修整
