2、低温等离子发生器原理 等离子发生器是通过低压放电（辉光、电晕、高频、微波等）产生的电离气体。在电场的作用下，高能束表面改性技术设备气体中的自由电子从电场中获得能量，成为高能电子。这些高能电子与气体中的分子和原子发生碰撞。如果电子能量大于分子或原子的激发能，则会产生激发分子或原子的自由基。不同能量
