被清洗物和小物件清洗困难，涂膜附着力划格法清洗介质成本高、污染大等缺点。由于微电子组装封装加工规模的不断扩大，对产品质量的要求也越来越高，等离子清洗设备技术在微电子组装封装过程中的使用量也在增加。等离子纯化是一种提高表面活性的工艺方法。输入射频可以将气体电离成等离子体状态，其中包含带电粒子，如正离子
