因此，半导体蚀刻工艺值班工程师设备的成本并不高，总体成本低于传统的湿法清洁工艺，因为在整个清洁过程中无需使用昂贵的溶剂。 7）采用等离子表面处理装置进行清洗，避免了清洗液的运输、储存和排放，便于生产现场的清洁。 8）等离子清洗可以处理各种材料，无论是金属材料、半导体材料、金属氧化物、高分子材料（聚丙
