1、化学清洗在化学清洗里常用的气体有H2、O2、CF4等，涂层附着力测定方法选择这些气体在等离子体内通过电离形成高活性的自由基与污染物进 行化学反应，其反应机理主要是利用等离子体里的自由基来与材料表面做化学反应，使非挥发性的有(机)物变为易挥发的形态，化学清洗具有清洗速度高，选择性好的特点，但是其在
