气体流量的大小对清洗有很大的影响，涂层附着力检测仪校准规范等离子清洗机在清洗时，保持一定的真空(0.1-0.2TORr)才能产生辉光清洗，在0.1-0.2TORr真空中对清洗效果(果实)是相同的。在较低的真空状态下，相对辉光更强。在任何时间在清洗的过程中,需要清洁真空泵的污染物,但也随时补充清洁气体
