在射频等离子清洗机等放电间隙小于500μm的情况下，海南真空等离子处理设备结构放电等离子体由传统的辉光放电结构转变为鞘层占主导地位的结构，鞘层成为放电空间的主体。结果还表明，鞘层主导放电结构中，放电空间整体失去电中性，呈现电正性。假设要在射频等离子体中继续保持正常的辉光结构，确保放电间隙内的电
