首先将待清洗的工件送入真空室进行固定，浙江等离子体除胶机价位抽真空泵等设备抽真空至10帕左右的真空度，引入等离子清洗气体。置于真空室中（根据清洗剂，选用不同的气体如氧气、氢气、氩气、氮气等），压力保持在100 PA左右。右；当在真空室的电极和接地装置之间施加高频电压时，气体通过辉光放电分解和离子化，
