选择等离子清洗设备进行晶圆清洗需要注意什么？ 1.型腔和支架要求用等离子刻蚀机清洗晶圆是在1000级以上的无尘室中进行的，油漆附着力等级分解0级对晶圆的要求非常高。晶圆会导致无法修复的缺陷。因此，设计等离子清洗设备的腔体应该由铝制成，而不是不锈钢。用于放置晶片的支架的滑动部分应由耐灰尘和等离子腐蚀的
