真空系统提供保持等离子体产生时一定的真空度的处理气体以一定量进入真空腔体,一旦真空腔体 达到产生等离子体所要求的真空度,等离子体发生器信号加到电极上便产生等离 子体。处理气体通过真空系统中的流量控制器被导入真空腔体,由流量控制器控制每种处理气体精确流入保证低温等离子体处理材料的要求。真空腔体是低温等
