LCD玻璃采用低温、大气等离子体清洗工艺，LCD等离子体表面清洗不仅可以去除碎片颗粒，提高材料的表面能量，而且促进产品的生产速度数量级的提高。等离子体表面处理已成为微电子生产中不可缺少的工艺。与等离子表面处理设备相比，行业中较为常见的名称是等离子清洗机，并逐渐为人们所熟悉。与传统的机械清洗(如机械清
