该设备的操作过程如下。 (1)将待清洗的工件送入真空室，氩气除胶固定好，启动操作装置，开始排气，将真空室的真空度设置为10Pa左右的标准真空度。典型的排气时间约为 2 分钟。 (2)将等离子清洗气体引入真空室。并将该压力保持在 100Pa。不同的清洗剂可选择氧气、氢气、氩气或氮气。 (3)通过在真空
